Jak odebrat Plasma Etch Polymer

Když chemik nebo elektrikář chce změnit chemické a fyzikální vlastnosti povrchu integrovaného obvodu oplatky, to je známé jako zpracování plazmy. Jednou z forem tohoto zpracování se nazývá plazmové leptání, který používá doutnavý výboj (známý jako plazma) z určitého plynu. Výstřelu uvolní pulzování proudu vysokou rychlostí přímo na vzorku obvodu. Zdroj plazmy, známý jako leptání druhů, může mít jednu ze dvou charakteristik - nabité, které jsou klasifikovány jako ionty nebo neutrální, která se skládá z atomů a radikálů. Jako etch zpracování začíná, bude vypouštění jsou vysílané na obvodu vytvořit těkavé etch zbytek v důsledku chemické reakce mezi leptaného materiálu a etch druhů vytvořené plazmy. Fyzikální a chemické vlastnosti obvodu nakonec se mění, zatímco atomy z proudu plazmy připojit nebo proniknout do povrchu. V závislosti na plyn, který se používá pro proud plazmy, plazmové leptání může polymer tvoří jako zbytek po zpracování. To, co budete potřebovat
Integrované obvody oplatky
Plazmové leptání polymer remover (PRX-127)
Těžké ochranné rukavice
roušku
Ochranné brýle nebo brýle
odizolování nádrže
deionizovaná (DI) opláchněte vodou nádrž
ždímačka nebo spin-oplachování vlasů
Zobrazit další instrukce
1

Plazmové leptání polymer bude pravděpodobně vznikla po použití plazmového leptání zpracování s fluorované založené na plyny jako oxid hydrotrifluoride a octafluoropropane. Tyto plyny vytvářet nenasycené sloučeniny v plazmě, které jsou pak převedeny do integrovaného obvodu destiček. Tyto musí být odstraněny, aby k dalšímu zpracování plazmy pokračovat.
2. Dbejte zvýšené opatrnosti kolem nebezpečných chemických látek.

Plasma etch polymer odstraňovač, známý jako PRX-127, je chemická sloučenina se skládá z prvků etheru sulfoxidu a hydroxidu, a je velmi nebezpečné dýchat nebo kontaktu. Doporučuje se, aby předtím, než se pokusíte použít tento výrobek, měli rukavice, brýle a masky se nosí. Mokré lavice ponoření proces je jedním z bezpečných způsobů, jak zvládnout tuto sloučeninu, a vyžaduje jen velmi málo fyzické interakce.
3

Vyplňte dva skrývkové tanky, které jsou navrženy speciálně pro mokré lavičce Proces s PRX-127 a přinést řešení, na teplotu 70 až 90 stupňů Celsia. Umístěte příslušného obvodu destičky opatrně do jednoho z tanků použít ochranné rukavice. Oplatky by měly zůstat v roztoku po dobu nejméně pěti minut, ale ne déle než 20 minut pro optimální účinek. Mechanické nebo zvukové na bázi míchání metoda je doporučen během prvního lázně.
4

Přeneste oplatky z první stripovací nádrže do druhé, jakmile lázeň dokončení cyklu, a namočte destiček opět po dobu pěti do 20 minut bez dalšího míchání. Tato druhá lázeň se odstraní stávající vrstvy polymeru pod zbytku na povrchu plátku.
5 deionizovaná voda je naprosto čistá voda, bez dalších minerálů.

Odstraňte oplatky z PRX-127 řešení a přenést na třetí nádrži naplněné SVC-300 máchání, což je řešení, které se používá především pro odstraňování laku. Je to docela bezpečné použití, protože je netoxický a nehořlavý a nepoškozuje destiček. Oplatky by měly zůstat v tomto roztoku po dobu dvou až tři minuty. Přeneste oplatky na konečné řešení - deionizované vody - uvnitř vypláchnout nádrž na šest až osm cyklů a pak použít odstřeďování sušičku ani točit oplachování vlasů odstranit všechny stopy řešení. Oplatky by měly být zcela bez polymerů, a nyní jsou bezpečné znovu použít pro další zpracování plazmy leptané.